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[2]龚小雷,李东降.电子级特种气体输支整碎品量把握[J].低温与特气,2009,27(318⑴9.[3]刘光会.半导体产业中的化教气体[J].半导体技能,1993,8(430⑶2.[4]陈霖新.半导体耗费用下杂气体供给整碎@@关键词@@全国气体工业协会陈霖IM电竞官网新简介(中国工业气体工业协会)7王奇讨论现场供给氢气的上风[A];2013年年会暨产业气体供给技能论坛论文散(上海)[C];2014年8陈霖新氢气的范围耗费初探[A];第三届齐国氢能教术会讲论文散[C];2001年9陈

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